超音波照射を用いた無電解NiPめっきによるナノ光ファイバープローブの作製

摘要

通常の光学顕微鏡はその分解能が光の回折限界によって制限されるため、光の波長サイズ以下の情報を得ることはできない。近年、この回折限界を超える超高分解光学ツールとして、金属コートファイバープローブを用いる近接場光学顕微鏡が登場した。これはサブミクロンからナノメートルオーダーの分解能を有し、光画像計測のほか、分光分析、光操作などに応用されている。近接場光学顕微鏡の分解能は、プローブ先端の開口径およびプローブ－試料間の距離により決定される。 また、プローブの金属膜は、ノイズとなる伝播光を遮断する役割を果たすため、高分解能の達成にはプローブ先端付近での金属遮光膜の膜厚プロファイルを精密に制御しなければならない。