超音波振動による超精密·微細加工の実用化技術をさぐる：高速超音波スピンドルの開発

摘要

当社は、超音波加工を実現することが可能な、小型で主軸が軸方向に40kHzで超音波振動する超音波スピンドルを開発した。また、小径高アスペクト比エンドミルによる切削加工や小径軸付砥石によるガラスなどの高硬度脆性材料の研削加工において、工具のクワミを抑制することができ、高精度·高効率加工が実現できることを明らかにしてきた。今回は、開発した超音波スピンドルを用いて、焼入れ鋼、ガラス、超硬合金あるいは素翠に対して、加工テストを実施してきた経緯、およびその効果に関して述べる。