一种超声波振动辅助磁流变超精密抛光装置

摘要

本发明涉及超精密加工技术领域，具体公开了一种超声波振动辅助磁流变超精密抛光装置，包括机床、复合振动装置、抛光系统、抛光液循环系统以及与上述各组件分别连接的控制系统，抛光系统中在抛光轮的上方设置有传送带，通过抛光液循环系统将抛光液送至传送带上进行抛光，使磁流变抛光液运动时摆脱了离心力的影响，克服了传统磁流变抛光使用抛光轮抛光时产生的拐点问题，通过两阶段式复合振动磁流变抛光，可实现高效率与高精度的结合。