公开/公告号CN210615995U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-05-26
原文格式PDF
申请/专利权人 绍兴金辉久研科技有限公司;
申请/专利号CN201921410314.3
申请日2019-08-28
分类号
代理机构杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人徐锋
地址 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥国贸中心(南区)3幢1层114室
入库时间 2022-08-22 14:11:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-26
授权
授权
机译: 气体团簇离子束的超精密抛光方法及超精密抛光装置
机译: 超精密抛光方法和超精密抛光装置
机译: 超精密抛光方法和超精密抛光装置