超音波振動による超精密·微細加工の実用化技術をさぐる：超音波楕円振動切削用工具「UPC」の開発

摘要

超音波楕円振動切削では工具や被削材への切削による負荷が小さいため、従来では安定して切削が困難であった超硬合金などの高硬度脆性材料の加工も可能になってきている。また、ダイヤモンドの新素材として開発されたナノ多結晶ダイヤモンドとの組み合わせで、難削材の加工や微細形状の大面積加工への効果が期待される。本稿では、超音波断振動切削用超精密切削工具の開発の経過とナノ多結晶ダイヤモンドの活用など今後の可骨性について紹介する。