中空光導波路の製作とその光回路への応用－中空光導波路とマイクロマシンを融合した光波制御素子の提案

摘要

高速·大容量伝送を実現するDWDM（高密度波長分割多重）システムでは，機能性，柔軟性を持ったネットワークを構成するには様々な光機能素子が必要になる．温度無依存な導波路としてコアの屈折率が温度に依存しない中空導波路に着目し，中空導波路構造の設計，製作を行っている．また，コアが中空であることを活かしMEMS (Micro-electro-mechanical-system)を集積することで大きな可変機能の実現が期待できる．今回，導波路厚さの違いを用いた3次元中空光導波路の製作を行い，光回路への応用例として中空導波路を用いた可変光減衰器を提案し，素子の試作を行った．また，中空導波路を用いた波長可変素子などの光機能素子へ展開するのに必須となる中空導波路の伝搬定数の可変特性について報告する．