LFB超音波材料解析システムによるTiO{sub}2-SiO{sub}2超低膨張ガラスの線膨張係数評価のための正確な検量線

摘要

直線集束ビーム超音波材料解析システムにより超低膨張ガラスの線膨張係数を超精密に評価する新しい技術のための漏洩弾性表面波速度とTiO{sub}2濃度との間の正確な関係を求めた。 周期的な脈理を有する市販のTiO{sub}2-SiO{sub}2ガラスを用いて、脈理面に垂直に用意した7枚の試料基板に対して、225MHzにおいて脈理面に平行にLSAWを伝搬させたときの平均的な速度と蛍光X線分析による平均的なTiO{sub}2濃度を測定した。 TiO{sub}2濃度に対するLSAW速度の感度は-0.06006 wt％/(m/s)となり、LSAW速度の分解能が±0.14m/sであることから、その分解能は±0.0084 wt％(±2σ)と見積もられた。