LFB超音波材料解析システムによるEUVL用TiO{sub}2-SiO{sub}2超低膨張ガラス基板の評価·選別法の検討

摘要

筆者らは直線集束ビーム超音波材料解析システムを用いた超低膨張ガラスの新しいCTE評価法を提案している。本報では、本評価法を極端紫外線リソグラフィシステムの反射光学系におけるフォトマスクや光学ミラーなど実際の大きさのものに適用するための評価手順について検討を行った。 市販のTiO{sub}2-SiO{sub}2超低膨張ガラスインゴットから基板面が脈理面に平行な2枚の試料を用意した。 225MHzにおいて試料の均一性／不均一性をLSAW速度の二次元分布として評価し、脈理パラメータ（変動周期と変動幅）を十分な精度で評価する手順を確立した。 本超音波法は、EUVLグレードのガラスの開発や作製プロセスの評価のみでなく、生産ロットの品質管理·選別における標準評価法として有用である。