高真空·超高真空における真空計測の定量測定－標準コンダクタンスエレメントを用いた電離真空計や分圧真空計の“その場”校正技術の開発

摘要

標準コングクタンスエレメント（SCE）は、真空容器内に、様々な気体を用いて、既知の流量を、容易に導入できる技術として、電離真空計や分圧真空計を校正するための信頼性の高い基準として用いることができる。さらに、コンダクタンス変調法による実効排気速度測定と組み合わせることにより、圧力に対する校正も可能である。SCEを用いた“その場”校正技術は、校正事業者における真空計校正装置はもちろんのこと、分析装置や試験装置、さらには製造装置においてでさえ適用可能である。昇温脱離分析による材料からのガス放出量の定量測定、高真空ポンプの排気速度試験、漏れ検査、ガスバリアフィルムのガス透過度測定において利用され始めている。