超高真空计直接比较校准装置

摘要

本文介绍一台全金属超高真空计校准装置.该装置采用直接比对法校准,使用LEYBOLDIE514分离型超高真空规作为标准,测试室采用球形结构,经过严格表面处理及调试获得了1×10-9Pa极限真空,分别对全压真空计及分压真空计进行了校准,取得了初步结果。