一种用一支真空漏孔校准真空计的校准装置及方法

摘要

本发明公开了一种用一支真空漏孔校准真空计的校准装置及方法，该装置由真空漏孔、截止阀、压力计、被校真空计、抽气系统、稳压室、校准室、供气系统组成，当已知漏率的真空漏孔流出的气体进入校准室中，通过一段时间的累积，使得校准室内的产生气体的标准压力，通过比较标准压力与被校真空计的读数，实现对被校真空计的校准。该装置与方法，与常规的静态膨胀法相比，操作简单，效率高，通过一支漏孔就可实现不同气体对真空计量程宽的精确校准。