一种基于电离真空计的真空分压力的测量方法

摘要

本发明公开了一种基于电离真空计的真空分压力的测量方法，属于真空测量技术领域。该方法是向校准室中充入一定比例的混合标样气体，达到动态压力平衡，然后调节阳极电压，电离真空计示值会随之变化，记录示值变化与阳极电压的相互关系，绘制电离真空计的标准曲线图谱，在实际测量过程中，采用相同的方法，调节阳极电压，绘制电离真空计示值实时变化谱图，通过与校准谱图比对，可获得被测气体样品的分压力。该方法简单可行，在实际工作中，可替代质谱计，极大降低了系统复杂性及成本。