標準コンダクタソスエレメソトとコンダクタソス変調法の組み合わせによる高真空ポンプの実効排気速度と電離真空計の感度のその場測定法

摘要

The method for in-situ measurements of the effective pumping speed of high vacuum pumps and the sensitivity of ionization gauges has been developed. The measurement system consists of the gas introduction device with the standard conductance element, and the pumping system with the conductance modulation method. The effective pumping speed of turbomolecular pump, the inverse of the correction factor of ionization gauges, and the effective accommodation coefficient of the spinning rotor gauge were measured by using fifteen kinds of gas species including water vapor. The uncertainty of the measurement was evaluated to be around ten percent. The obtained results are consistent with the conventional literature values within the measurement uncertainties.%標準コンダクタソスエレメソトを使ったガス導入方法と，コンダクタソス変調法を組み合わせることにより，高真空ポンプの実効排気速度S_(eff)と電離真空計のf_c~(-1)を，その場測定する方法を開発した．コンダクタソス変調法を使ったS_(eff)の測定については，標準コンダクタンスエレメソトを用いることにより，（1）試験圧力の制御が容易となった，（2）電離真空計の線形性を確認しながら測定できるようになった，という点で改善があった．