高エネルギーイオンビームを用いた ナノマイク口構造創製技術とその応用

摘要

高工ネルギーイオンビームの「ものづくり」への利用を考える． 高エネルギーイオンは，物質との相 互作用で直線的な飛跡に沿い，高い線工ネルギー付与（Linear Energy Transfer: LET)と，飛跡終端付近で ブラッグピークをもつという大きな特徴を有し，照射条件にも，ほかの放射線にはない際立った多様性 をもつ．高工ネルギーイオンビームをナノメートルレべルで制御するマイク口ビーム技術は多様で新奇 な微細構造を創出でき，情報通信や医療分野などで役立つ「ものづくり」技術となりうる．ただこの実 現には，イオンビームと物質との相互作用の基礎的系統的知見の蓄積，それを基礎とした材料，ビー ム技術，および加工技術など，多分野の研究者による有機的な取り組みが必要である．