パルスバイアス電圧法によるプラズマCVD法で作製したDLC膜のトライボロジー特性

摘要

1998年度から実施されたNEDO委託の「炭素系高機能材料技術の研究開発」プロジェクトにおいて，固体潤滑膜として用いられているダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜の高機能化に関する研究を実施してきた．従来用いられてきた成膜時の基板へのDCバイアス電圧印加手法とは異なる，パルスバイアス電圧印加手法を適用しDLC膜を作製した結果，摩擦摩耗試験において膜の比摩耗量が大幅に減少することを見いだした。 また基板との密着強度も向上し，優れたトライボロジー特性をもつことが確認された．