電子サイクロトロン共鳴プラズマ,フィルタードアークイオンプレーティング法により形成されたDLC膜の高温トライボロジー特性

机译：电子回旋谐振等离子体和过滤电弧离子电镀形成DLC膜的高温摩擦学性能

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本研究では，前報に引続きFCVA （Filtered Cathodic Vacuum Arc）とECR-CVD （Electron Cyclotron Resonance-Chemical Vapor Deposition）法で形成された極薄DLC膜の高温状態におけるトライボロジー特性を評価した．荷重0.5Nでボールオンディスク型摩擦摩耗試験機を用いて摩耗進行の様子を評価した結果を報告する．

机译：在该研究中，我们在由FCVA（过滤的阴极真空电弧）和ECR-CVD（电子回旋共振 - 化学气相沉积）方法中，在超薄DLC膜的高温状态下评估了摩擦学性质。使用球盘式摩擦磨损测试仪在载荷0.5N时评估磨损进展外观的结果。

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来源
《トライボロジー会議》|2010年||共2页
会议地点
作者
齊藤雄太; 三宅正二郎;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TH117.1-53;
关键词
入库时间 2022-08-21 01:12:26

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