真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能

张泰华; 郇勇; 王秀兰

首页> 中文期刊> 《实验力学》 >真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能

真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用真空磁过滤电弧离子镀法分别在9Cr18和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.2μm的类金刚石(DLC)膜.为了检测成膜质量,分别使用纳米压痕和纳米划痕技术表征钢基材和DLC/基材的机械性能.对这种亚微米厚的膜,纳米压痕技术和纳米划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形、断裂和摩擦等的信息.同DLC/40CrNiMo相比,DLC/9Cr18的硬度高和固体润滑效果显著,9Cr18是较为理想的基体材料.

著录项

来源
《实验力学》 |2003年第1期|1-5|共5页
作者
张泰华; 郇勇; 王秀兰;
展开▼
作者单位

中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室;

航天材料及工艺研究所;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类真空镀与气相镀法;薄膜物理学;
关键词
真空磁过滤电弧离子镀; DLC膜; 纳米压痕; 纳米划痕; 固体润滑;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 磁过滤电弧离子镀制备DLC薄膜的表面形貌和成键状态 [J] . 郭朝乾 ,林松盛 ,石倩 . 材料研究与应用 . 2019,第002期
2. 真空磁过滤电弧离子镀法制备类金刚石涂层方法及性能研究 [J] . 王秀兰 ,刘文言 ,刘洪源 . 宇航材料工艺 . 2002,第006期
3. 带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究∗ [J] . 李刘合 ,刘红涛 ,罗辑 . 物理学报 . 2016,第006期
4. 真空磁过滤电弧离子镀沉积Ti-O薄膜及其血液相容性 [J] . 曹国栋 ,冷永祥 ,景凤娟 . 功能材料 . 2009,第010期
5. CrNi3MoVA钢表面过滤阴极真空电弧沉积DLC膜的性能 [J] . 郭策安 ,孔凡亮 ,任青松 . 功能材料 . 2019,第002期
6. 磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及性能研究 [C] . Zhang Qipei ,张启沛 ,Zhong Xichun . 2017年全国十四省市热处理技术交流会暨天津市第五届热处理行业论坛 . -1
7. 磁过滤真空电弧离子镀制备抗凝Ti-O薄膜的研究 [A] . 伍卫姣 . 2012

真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅