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アークイオンプレーティング法により形成したDLC膜のマイクロトライポロジ特性

机译:电弧离子镀法形成DLC膜的显微热线棒状特性

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摘要

フィルタードアークイオンプレーティング法で形成したDLC膜についてマイクロトライボロジー特性を評価した.(1)フィルタを用いDLC膜を形成することで表面粗さがRa:0.2nm程度まで減少する.(2)直流,パルスバイアスともに,付着力が最大を示す適切なバイアス電圧が存在する.(3)ナノインデンテーション硬さでもスクラッチ試験と同様に硬さが最大を示すバイアス電圧が存在する.
机译:评估通过过滤的电弧离子电镀方法形成的DLC膜的显微磨机性质。 (1)通过将表面粗糙度形成为约0.2nm,使用过滤器形成DLC膜。 (2)DC和脉冲偏压均具有适当的偏置电压,指示最大粘附性。 (3)即使在纳米狭窄的硬度中,也存在偏置电压,其指示最大硬度以及划痕测试。

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