プラズマを用いたソフトマテリアルプロセス技術の展開?低温?低ダメージの材料プロセスからプラズマ医療?

摘要

プラズマを利用したプロセス技術は、材料表界面の改質あるいは材料表面への薄膜形成や微細加工による形状制御により、材料の機能化や新素材の創製、多様な表面加工を高精度でかつ効率良く行える実用的なプロセス技術として、この30数年で飛躍的に発展し、機械分野ならびに化学工業分野などにおける材料保護技術として広く用いられている表面改質からエレクトロニクスをはじめとする先端産業の発展に必要不可欠な製造プロセスとして、今日の科学技術を支える基幹技術となっている。