RF放电中对低损伤等离子体处理的离子能量的控制

摘要

一种控制离子能量的新技术建立在用一个辅助等离子体源把电子从外部注入到民容耦合的ｒｆ等离子体的基础上。外部注入的电子以代携带ｒｆ电流的等离子体电子，然后重建ｒｆ鞘，其中离子被加速。实验是用一个配有一个磁控管放电等离子体源的平行板ｒｆ等离子体装置来的，此源安装在网状接地电极的后面。