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吕少波; 蔺增; 王庆; 巴德纯;
东北大学机械工程与自动化学院;
玻尔兹曼方程; 射频电场; 甲烷等离子体; 电子能量分布;
机译:电子能量松弛长度与氙氯混合物中辉光放电等离子体中的电子能量分布局部问题有关
机译:硅烷射频辉光放电中电子能量分布函数的测量可靠性
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:钛合金的热或射频等离子体辉光放电处理刺激MC3T3骨祖细胞系中成骨细胞的基因表达
机译:利用光发射光谱法对射频辉光放电中基于压力的等离子体状态进行空间表征
机译:时间和空间决定射频辉光放电中的电子轰击激发率
机译:射频等离子体辉光放电溅射
机译:等离子体涂覆工艺包括选择要在涂覆室中施加到基板的偏置电压,以使等离子体中电子的能量分布函数的最大值位于工作气体的分解势以下
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