Etching; High-Frequency Discharges; Boron Chlorides; Cations; Chlorine; Energy Spectra; Experimental Data; Integrated Circuits; Meetings; Tables(data);
机译:氮气感应耦合等离子体放电中惰性气体混合物对电子能量分布函数的调谐效应
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机译:电感耦合放电中电子能量分布函数演化的理论研究
机译:射频偏置感应耦合氯等离子体中晶圆上离子能量和角度分布的二维模拟
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:校正:使用激光消融-电感耦合等离子体质谱法成像通过金属分布可视化小鼠神经解剖结构和功能
机译:离子能量分布在氯和三氯化硼的混合物中的电感耦合RF放电中起作用
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