プラズマとソフトマテリアルとの相互作用: 低ダメージの表面プロセスからプラズマ医療にわたる基礎過程

摘要

本稿では，次世代での多様な材料プロセス（基板ならびにデバイス）を念頭に，筆者等が開発してきたプラズマ生成•制御技術と共にプラズマとソフトマテリアルとの相互作用に開する実験結果について紹介した。エッチングを伴わない物理的な損傷形成過程が優勢な処理では，照射されるイオンエネルギーが6eV程度まで低減できれば，ソフトマテリアルへの分子損傷を回避したプロセス構築に道が拓かれる可能性がある。