AFM陽極酸化法によるパーマロイ薄膜の微細加工についての検討

摘要

原子間力を検出して表面構造を観察する原子間力顕微鏡(AFM)は，ナノスケールの領域で陽極酸化反応を起こして，微細な絶縁物を形成することが可能であり、磁性デバイスの加工ツールとしての利用が期待される．しかし，AFMによる陽極酸化では，材料によって加工性が異なり，Si基板上では均一な構造の作製が可能であるが，NiFeやNi，Fe薄膜上では得られる構造が不均一になってしまう．本研究では，NiFe薄膜上に作製した構造が不均一になる原因を探る．