のこぎり歯形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送～第6報 フェムト秒レーザ加工表面を用いた微小パーツの輸送に関する検討

摘要

筆者らは，数十から数百ミクロンサイズのマイクロパーツの輸送機構として，のこぎり歯形表面を有するマイクロパーツフィーダを提案している．この機構は，振動式フィーダの表面にのこぎり歯形状の溝加工を施し，マイクロパーツとフィーダの接触条件を正負方向で変化させることで，対称な平面振動による一方向輸送を実現している．前報にて用いたフィーダ表面を顕微鏡で観察したところ，フィーダ表面形状は非対称三角波や非対称正弦波形状をしていることが分かった．すなわち，フィーダ表面は完全なのこぎり歯形状である必要はなく，非対称性を有していれば対称平面振動による一方向輸送が可能であると考えられる．そこで，フェムト秒レーザ照射で自己組織的に誘起されるサブミクロンピッチの微細な周期溝を，入射角を設けたうえでダブルパルス形成する手法の適用について検討した．