スパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜の生成と評価

摘要

RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn_2O_4薄膜を生成している。本研究では、様々な条件で薄膜を生成し、薄膜の膜厚の測定、X線回折による生成物質の同定、走査電子顕微鏡による表面の観察を行い、それぞれの薄膜を比較して生成条件による薄膜の変化を評価した。その結果、生成条件を変数とした膜厚の規則性の把握、生成した薄膜の同定に成功した。