フッ素系不活性液体－半導体製造におはる熱媒体としての利用

摘要

ここでは，簡単のために熱を移送するために介在する物質を熱媒体と呼ぶことにする。すべての熱媒体に関して述べることは本稿の範囲をはるかに超えるので，ここでは2次冷却方式のエレクトロニクス分野での使用を主眼とし，一般にはあまりなじみのないフッ素系不活性液体の利用を概観するための入り口としてまとめることにしたい。暖める，温度を一定に保つ，あるいは冷却するなど目的に応じて熱媒体の役割は異なるが，熱媒体として利用されている多様な物質のなかで，フッ素系不活性液体は低温媒体の部類に属するので，ここでは説明の簡便性のために目的にかかわらず冷却という言葉を用いることにする。