ナノテクノロジーに裏づけされたMEMS技術の新展開

摘要

「ナノテクノロジー」は，世界を牽引し続けてきた日本の得意とする先端技術である。 そして，このナノテクノロジーと，「光」，「機能材料」，「バイオ」などの学問分野が融合して新しい科学と技術の芽が生まれつつある。 この融合技術により，人間生活の質の向上を促進させ，従来にない高機能デバイス，高付加価値製品を作り出すことが期待されている。 以前は単なる夢に過ぎなかったことがバイオテクノロジや医療にも具体的に適用され始められている。 ここでは，ナノレベル技術が要求されるMEMS 技術について，幾つかのトピックを挙げながら，展望してみることにする。