机译:在Pt,Au,Pd和混合靶材放电后高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)中证明和测量金属离子分数的有效方法
plasma diagnostics; plasma flows; plasma properties;
机译:在Pt,Au,Pd和混合靶材放电后高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)中证明和测量金属离子分数的有效方法
机译:混合高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)和不平衡磁控溅射工艺沉积的TiAlCN / VCN纳米多层涂层的性能-涂层期间HiPIMS的影响
机译:使用LaB_6目标在大功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)和突发HiPIMS中观察多种电荷状态和高离子能量
机译:高功率脉冲磁控溅射蚀刻不平衡磁控溅射沉积(HIPIMS / UBM)工艺沉积的工业化生产耐腐蚀CrN / NbN涂层
机译:用于互连金属化的高功率脉冲磁控溅射和调制脉冲功率溅射的比较。
机译:大功率脉冲磁控溅射镍薄膜的斜角沉积
机译:高功率脉冲磁控溅射和不平衡磁控溅射技术在CrN沉积过程中靶中毒