公开/公告号CN109863574A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-07
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201780064294.6
申请日2017-09-12
分类号H01J37/34(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 11:46:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/34 申请日:20170912
实质审查的生效
2019-06-07
公开
公开
机译: 高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)的闪频抑制和脉冲
机译: 具有高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)的RF基板偏置
机译: 高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)的RF衬底偏置