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机译:用于硅基微反应器的嵌套式氢氧化钾蚀刻和保护涂层
Microreactor; Fluorine; Microchannels; Nested potassium hydroxide etching; Protective coatings;
机译:用于硅基微反应器的嵌套式氢氧化钾蚀刻和保护涂层
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机译:嵌套氢氧化钾蚀刻和用于硅基微反应器的保护涂层