...
机译:静电梳齿驱动器驱动的大范围双轴微位移台
机译:静电梳齿驱动器驱动的大范围双轴微位移台
机译:由基于SOI-MEMS技术的静电梳齿驱动器驱动的微凸轮系统
机译:单罩,结构简单的微旋转电机,由静电梳状驱动器驱动
机译:由串联静电梳齿驱动器驱动的两轴执行器(x-z或x- ??)
机译:静电驱动微型执行器的研究。
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:用于静电梳齿驱动致动器的远程弹性引导机构
机译:用于高填充因子,敏捷光学相位阵列的静电驱动的大孔径微镜致动器组件。