机译:使用模制的厚苯并环丁烯层的粘合晶圆键合,用于MEMS和LSI的晶圆级集成
机译:使用模制的厚苯并环丁烯层的粘合晶圆键合,用于MEMS和LSI的晶圆级集成
机译:与苯并环丁烯的选择性晶圆级粘合剂粘合,用于制造型腔
机译:通过胶粘晶圆键合为MEMS和成像传感器提供具有成本效益的晶圆级封盖
机译:晶圆级MEMS-LSI集成平台,使用剪切键合金属可定制,可用于各种应用
机译:镶嵌图案化的金属/胶粘剂晶圆键合,用于三维集成。
机译:通过胶粘晶圆键合为MEMS和成像传感器提供经济高效的晶圆级封盖
机译:通过胶粘晶圆键合,为MEMS和成像传感器提供经济高效的晶圆级封盖