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机译:通过聚焦离子束和低温深反应离子刻蚀相结合的干法制造微型器件
机译:通过聚焦离子束和低温深反应离子刻蚀相结合的干法制造微型器件
机译:原子层沉积增强了具有低温深反应离子刻蚀的微机械器件的快速干法制造
机译:通过局部聚焦离子束注入和深反应离子刻蚀在硅基板上制备高纵横比的纳米通道
机译:使用反应离子束刻蚀和化学辅助反应离子束刻蚀对GaN进行干法刻蚀
机译:通过聚焦离子束诱导的选择性混合和湿法化学蚀刻形成光通道波导:设计,制造和表征。
机译:低温和博世深反应离子蚀刻的元表面制造
机译:聚焦离子束与低温深反应离子刻蚀相结合的纳米制造工艺的表征
机译:聚焦离子束注入和湿法刻蚀制备可见光致发光si微结构