...
机译:通过选择性热氧化和回蚀在硅衬底上制造的二氧化硅来设计和制造纳米流体通道
NANOIMPRINT LITHOGRAPHY; MICROCHANNELS; FLOW;
机译:通过选择性热氧化和回蚀在硅衬底上制造的二氧化硅来设计和制造纳米流体通道
机译:通过二氧化硅层和硅的自对准等离子体刻蚀,无需光刻即可实现亚100 nm结构
机译:通过磷酸解开氮化硅在二氧化硅上的选择性蚀刻机理:第一原理研究
机译:在碳氟化合物等离子体中选择性刻蚀硅期间二氧化硅(SiO / sub 2 /)表面的原位时间分辨红外光谱研究
机译:通过在碳化硅和硅衬底上热生长的二氧化硅的隧穿。
机译:三重热氧化和硅玻璃阳极键合制备和表征亚100/10 nm平面纳米流体通道
机译:二酰胺光波导在二氧化硅层堆叠硅衬底上的制造
机译:用于金纳米粒子选择性沉积的二氧化硅基板的化学图案化及单电子晶体管的制作