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机译:通过100 keV电子束光刻系统制造高分辨率X射线掩模
机译:通过100 keV电子束光刻系统制造高分辨率X射线掩模
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:一种用于制造悬浮掩模的使能技术,用于在超高压环境中完成器件制造
机译:通过掩模拖动X射线光刻和对准X射线光刻技术制造聚合物微针阵列
机译:电子束写入过程中X射线光刻掩模畸变的研究
机译:电子束投影光刻掩模系统在曝光期间的热机械变形。
机译:通过100 keV电子束光刻和电镀处理的高效率菲涅耳波带片用于硬X射线
机译:用于电子束光刻的高对比度3D接近校正:用于制造悬挂掩模的使能技术,用于在UHV环境中完成器件制造
机译:使用阴影技术制作的X射线掩模在大约100 a线宽下进行X射线光刻