机译:原子层沉积Al:ZnO薄膜晶体管中局部掺杂的影响研究
机译:原子层沉积Al:ZnO薄膜晶体管中局部掺杂的影响研究
机译:铝掺杂对原子层沉积ZnO薄膜热电性能的影响
机译:铝掺杂对原子层沉积ZnO薄膜热电性能的影响
机译:用于晶体管施加的原子层沉积沉积的Al掺杂的ZnO膜
机译:使用不平衡磁控溅射制造适用于薄膜晶体管的掺镓ZNO薄膜。
机译:Do掺杂对通过原子层沉积沉积的氧化锌薄膜晶体管中态密度的影响
机译:限制原子层沉积ZnO:Al薄膜的掺杂效率的因素:透射电子显微镜和原子探测断层扫描的掺杂剂分布研究