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机译:深度反应离子刻蚀和聚焦离子束技术相结合制造的高清晰度高比例原子力显微镜针尖
Deep Reactive Ion Etching; Focused Ion Beam Lithography; High-Aspect-Ratio; Atomic Force Microscopy;
机译:深度反应离子刻蚀和聚焦离子束技术相结合制造的高清晰度高比例原子力显微镜针尖
机译:深度反应离子刻蚀和聚焦离子束结合用于纳米尖端制造
机译:通过各向异性湿法刻蚀和聚焦离子束技术制造的亚微米级荫罩,用于特高压中的纳米加工
机译:用聚焦离子束和反应离子蚀刻制造的模具的金属玻璃上18个NM间距超细图案的纳诺范围
机译:尖锐探针聚焦引起的电子的非局域等离子体场发射
机译:通过深反应离子蚀刻制造高纵横比硅光栅
机译:聚焦离子束与低温深反应离子刻蚀相结合的纳米制造工艺的表征
机译:强隧道内隧道阻力对聚焦离子束刻蚀制备单电子晶体管电导的影响2。会议文件