机译:在样品的表面区域上自动聚焦带电粒子束的方法,计算带电粒子束装置的图像的图像的锐度值的会聚集和用于成像的带电粒子束装置
公开/公告号US2021249220A1
专利类型
公开/公告日2021-08-12
原文格式PDF
申请/专利权人 ROBERT TRAUNER;BERMJARD SCHÜLER;BERNHARD G. MUELLER;NIKOLAI KNAUB;KULPREET SINGH VIRDI;APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201916978157
申请日2019-04-12
分类号H01J37/22;H01J37/21;H01L21/67;G06T7;
国家 US
入库时间 2022-08-24 20:33:49