机译:热处理下PECVD氧化硅膜上机械应力的演变
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机译:PECVD掺杂烃的氧化硅薄膜中各种有机硅分子的行为
机译:PECVD利用膜点载荷挠度表征富硅氮化物和低应力氮化物膜的机械特性
机译:在Fowler-nordheim的逐步湿法蚀刻期间氧化物表面粗糙度在彼得·诺德海姆的逐步湿法蚀刻型二氧化硅薄膜期间循环湿法施用氮二氧化硅膜表面粗糙度
机译:研究热生长和远端PECVD沉积的二氧化硅薄膜中的局部原子结构和热历史。
机译:在热生长的二氧化硅上沉积纳米柱优先取向的PSZT薄膜
机译:氢含量和粘合环境对高频PECVD工艺沉积氢化硅膜力学性能的影响
机译:热历史对热生长二氧化硅,siO2超薄膜应力相关特性的影响