机译:微电子制造中原子层沉积的综合可持续性分析
atomic layer deposition; sustainable manufacturing; material flow analysis; energy flow analysis; Al_2O_3 dielectric film;
机译:微电子制造中原子层沉积的综合可持续性分析
机译:通过集成原子层沉积和原子层蚀刻在TiO_2区域选择性沉积期间反应剂量对抗体的影响
机译:集成的等温原子层沉积/原子层蚀刻超细,用于TiO2的区域选择性沉积
机译:微电子制造中原子层沉积的可持续性分析
机译:微电子学中稀土氧化物薄膜的原子层沉积
机译:通过原子层沉积与透明导电氧化物基板集成的氮化钽薄膜用于光电化学水分解
机译:微电子制造原子层沉积的集成可持续性分析