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机译:微电子制造原子层沉积的集成可持续性分析
Chris Y. Yuan; David A. Dornfeld;
机译:微电子制造中原子层沉积的综合可持续性分析
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机译:微电子制造中原子层沉积的可持续性分析
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机译:X射线荧光分析原子层沉积装置和X射线荧光分析原子层沉积方法
机译:X X X射线荧光分析和原子层沉积设备以及进行X射线荧光分析和原子层沉积的方法
机译:用于通过使用原子层沉积方法向氧化物薄膜掺杂卤素的卤素掺杂源,用于制造卤素用于通过使用原子层沉积来对氧化物薄膜进行卤素掺杂的卤素掺杂源的方法,以及通过使用用于掺杂氧化物薄膜的方法制造的掺杂卤素的氧化物薄膜。含卤素
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