Harvard University;
机译:钽氧化物薄膜的原子层沉积,用作微电子器件中的扩散阻挡层
机译:稀土扫描日期单层和多层薄膜作为微电子应用的替代栅极氧化物
机译:使用原子层交替沉积氧化铋和氧化铁层的氧化铋铁薄膜
机译:用于高κ电介质应用的稀土氧化物薄膜的原子层沉积
机译:各种氧化物薄膜原子层沉积和热原子层蚀刻工艺的机械研究
机译:AlGaN / GaN金属-氧化物-半导体高电子迁移率晶体管中作为栅极电介质的氧化镓膜的原子层沉积
机译:原子层沉积生长的氧化铜和铜薄膜,用于微电子器件的金属化系统
机译:阳极氧化铝模板原子层沉积法制备纳米多孔活性氧化铱薄膜