机译:用于3维芯片堆叠的脉冲电流将铜高速填充到TSV中
three dimensional packaging; electrical/electronic; plating; electrochemistry; scanning electron microscopy (SEM);
机译:用于3维芯片堆叠的脉冲电流将铜高速填充到TSV中
机译:高速Cu-Ni填充到TSV中以进行3维Si芯片堆叠
机译:高速铜填充到锥形TSV中以进行3维Si芯片堆叠
机译:用于过孔的电镀铜填充物,用于三维芯片堆叠
机译:脉冲激光沉积生长的外延YBa2Cu3O7-8薄膜和YBa2Cu3O7-8 / PrBa2Cu3O7-8异质结构的超导性能
机译:脉冲电流和预退火对通过硅通孔(TSV)铜热挤出的影响
机译:采用TsV集成45nm高性能sOI-CmOs嵌入式DRam技术的三维晶圆堆叠