机译:从晶体生长和晶片加工过程看硅内在点缺陷的性质
defect reactions; denuded zones; interstitial growth; perfect silicon; rapid thermal processing; vacancy profiles;
机译:从晶体生长和晶片加工过程看硅内在点缺陷的性质
机译:从晶体生长和晶片加工过程看硅内在点缺陷的性质
机译:硅晶体生长和晶圆加工中的内在缺陷及其控制
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机译:研究碳化硅的外延层和块状晶体的生长过程和缺陷形成。
机译:用于表面精加工和电性能的单晶硅晶片激光研磨
机译:硅中的内禀点缺陷:晶体生长,晶圆加工和金属扩散的统一观点