机译:氮化硅膜上氮化铝压电膜的电学和光学特性
MEMS; Aluminium nitride; Flexural modes; Thin film piezoelectric;
机译:氮化硅膜上氮化铝压电膜的电学和光学特性
机译:氮化铝-氮化钛和氮化铝-碳化硅复合材料的制备及力学性能
机译:通过硅表面预处理改善了溅射氮化铝薄膜的压电常数
机译:用于硅太阳能电池抗反射涂层的氮化硅和氮化铝膜的制备和光学表征
机译:在高温“智能”摩擦应用中,在封闭场不平衡磁控溅射中反应性沉积的氮化铝压电薄膜。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:非晶氮氧化硅和氮化硅膜中结构缺陷的光电性能