重氮树脂感光膜上铜无电沉积——制备铜膜、铜膜图像和铜膜空心球

摘要

本文报道在单层重氮树脂(DR)或重氮树脂组装膜修饰的硅片(或玻璃)表面,直接吸附SnCl2和Pd(铜的无电沉积催化剂),然后催化铜无电沉积,得到稳定的铜膜.若先在重氮树脂膜上形成SnCl2潜像,再吸附Pd催化剂,在潜像上进行铜无电沉积,就可得到铜膜图像.如果在乳胶颗粒上组装重氮树脂为组分的多层膜,用同样的技术在沉积铜膜之后溶去乳胶颗粒,即可得到空心铜球.