AFMによる半導体特性評価ソリューションを発表

摘要

ブルカー·エイエックスエスはAFMによる半導体特性評価ソリューション「Dimension Icon SSRM－HR」を発表した。ベルギーの研究開発機関Imec公認のScanning Spreading Resistance Microsopy（SSRM）を搭載した新型のAFMで，特に半導体の特性評価を高分解能で取得できる設計となっている。AFMのリーディングカンパニーであるブルカー社製「Dimension Icon AFM」と，サブppmオーダーでのH2Oや02の雰囲気制御，高真空制御を可能にした環境制御システムを融合し，半導体のキャリアプロファイリングのかつてない再現性と高分解能を提供する。