机译:表面波等离子体CVD沉积非晶碳膜的表征
Amorphous carbon; Surface wave plasma; Electron density; sp~2 cluster;
机译:表面波等离子体CVD沉积非晶碳膜的表征
机译:微波表面波等离子体CVD沉积非晶碳薄膜的光学和结构性质
机译:使用微波表面波等离子体CVD沉积压力对薄无定形碳膜的作用
机译:退火处理对微波表面等离子体CVD沉积非晶碳薄膜的光伏性能的影响
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:通过PECVD在镍金属化多孔硅上沉积的非晶硅薄膜的结晶
机译:PECVD沉积并经SF6等离子体改性的氢化非晶碳膜的性能
机译:等离子体沉积非晶碳膜的表征