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晓青;
无;
等离子体; CVD; 非晶; 碳/氮化物; 薄膜;
机译:大气压等离子体CVD法制备非晶碳薄膜
机译:通过表面波微波等离子体CVD制备的含氟非晶碳薄膜
机译:微波表面波等离子体CVD法制备的氮化非晶碳薄膜的表征
机译:原位等离子体分析,通过等离子体增强化学气相沉积法沉积在Si上的氟化非晶碳和氢化非晶碳薄膜的氟掺入,热稳定性,应力和硬度比较
机译:使用直流等离子体等离子体增强化学气相沉积法合成化学计量的氢化非晶碳化硅薄膜。
机译:掺b非晶碳基薄膜:通过低温RF-PEMOCVD制备的光子材料
机译:偏压辅助热解 - CVD法制备非掺杂非晶碳薄膜的表面形貌和成分分析
机译:甲烷等离子体制备氢化非晶碳膜的光学特性
机译:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)沉积共形非晶碳膜的方法
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